1 总 则
1.0.1 为了在电子工厂特种气体和化学品配送设施设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除工程中保障人身健康和生命财产安全、生态环境安全，满足经济社会管理的基本要求，依据有关法律、法规、技术措施制定本规范。
1.0.2 电子工厂新建、扩建和改建的特种气体和化学品配送设施设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除工程必须遵守本规范。
1.0.3 当电子工厂特种气体和化学品配送设施在设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除工程中采用的技术措施与本规范的规定不一致，经合规性评估符合本规范的基本规定时，应允许使用。
1.0.4 工程建设所采用的技术方法和措施是否符合本规范要求，由相关责任主体判定。其中，创新性的技术方法和措施应进行论证并符合本规范中有关性能的要求。
2 基本规定
2.0.1 特种气体和化学品配送设施设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除时，应建立系统的安全评估和风险管理制度，消除安全事故隐患。
2.0.2 特种气体和化学品配送设施设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除中涉及的压力容器、压力管道等特种设备应符合国家有关特种设备监察管理规定。
2.0.3 特种气体和化学品配送设施应进行重大危险源辨识，危险化学品重大危险源设计、施工与验收、运行与维护应符合国家有关重大危险源安全监管的规定。
2.0.4 特种气体和化学品配送设施达到设备的使用年限或遭遇重大事故后，应进行系统安全及其功能、性能的验证与评估，合格后方能继续使用。
2.0.5 特种气体和化学品配送设施设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除工程应采取技术措施减少污染，对产生环境污染的废气、废水、固体废物进行处理。
2.0.6 特种气体和化学品配送设施的设备和管道应设置专用标识，供应站房应设置安全警示标识。
2.0.7 电子工厂涉及的剧毒化学品、易制爆化学品、易制毒化学品配送设施的设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除应符合国家管理的规定。
2.0.8 特种气体和化学品的管道穿过防火墙或防火隔墙时，应进行防火封堵。
2.0.9 特种气体和化学品系统设备、管道、管件应选择与介质特性相容的材料，并根据介质特性和工艺要求对介质接触面进行处理。
2.0.10 对于物理化学性质易受温度影响的特种气体和化学品，应采取措施对其环境、配送设施进行温度控制。
3 特种气体配送设施设计
3.1 特种气体站房
3.1.1 特种气体应按照物理化学特性分类存放，特种气体间设计应符合下列规定：
1 特种气体间应设置排风系统；
2 特种气体间与相邻房间防火隔墙的耐火极限不应小于2.00h；
3 易燃特种气体间应进行防爆设计。
3.1.2 大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开敞式建筑内，建筑外墙面的遮挡部分不得大于三面。
3.1.3 硅烷站内大宗容器之间以及大宗容器与工艺气体盘之间的距离小于9m时，应设置耐火极限2.00h以上的隔断。隔断的高度和长度应大于硅烷容器尺寸800mm。
3.1.4 剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或应急工具，排风装置和剧毒性特种气体在事故状态下的排风处理装置。
3.1.5 剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、防盗窗和防止人员入侵的安全防范设施。
3.1.6 自燃性液态特种气体配送设施应设置事故处理装置，处理装置应具备应急状况处理能力。
3.2 特种气体工艺及管道系统
3.2.1 不相容特种气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中。
3.2.2 液态气体钢瓶加热应配置温控系统，钢瓶表面温度应满足安全要求。
3.2.3 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统气瓶柜的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，并设置止回阀，不相容性特种气体系统吹扫氮气不得共用同一氮气源，吹扫气体管线应设置止回阀。
3.2.4 不相容特种气体排气管道不得接入同一排气系统。
3.2.5 硅烷钢瓶侧连接管道应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站安全出口应设置手动紧急切断按钮。至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m。
3.2.6 生产厂房洁净室内的自燃性、易燃性和毒性特种气体管道应明敷，并应采用焊接。
3.3 特种气体监控与安全系统
3.3.1 使用多种特种气体的生产厂房应设特种气体管理系统，系统应实现特种气体连续检测、指示、报警功能，并应能够记录、存储。
3.3.2 储存、输送、使用自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体的配送设备间，气瓶柜和阀门箱、生产工艺设备、就地废气处理装置排风出口管处应设置特种气体泄漏探测装置。
3.3.3 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体检测装置报警设定值应符合下列规定：
自燃性、易燃性气体应使用易燃性气体爆炸浓度下限值（LEL）的不同比例设置一级和二级报警设定值；剧毒性、毒性气体应使用有害物质的最高允许浓度值-时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)的不同比例设置一级和二级报警设定值。
3.3.4 硅烷排风管道的气体泄漏探测器的报警设定值，应等于或小于50ppm，并与硅烷气源的自动切断阀连锁。硅烷站的环境气体探测装置的报警设定值应小于或等于5ppm，环境气体探测器报警时，硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路。
3.3.5 室外大宗硅烷系统钢瓶区域内应设置紫外和红外火焰探测器；室内硅烷输送系统应采用火焰探测器或感温探测器。
3.3.6 自燃性液态特种气体配送设施应设置漏液探测器和火焰探测器，并在发生泄漏时，发出声光报警并联动切断供应。
4 化学品配送设施设计
4.1 化学品站房
4.1.1 化学品卸货区应设置漏液收集沟，收集沟联通的废液收集池应不小于单一化学品装卸槽车的容积。
4.1.2 化学品液体储罐区域应设置溢出保护设施，并应符合下列规定：
1 有机溶剂、氧化性化学品储罐应设置防火堤，防火堤有效容积应大于堤内最大储罐容积；
2 酸碱类化学品、腐蚀性化学品液体储罐应设置防护堤，防护堤有效容积应大于堤内最大储罐容积；
3 防火堤及防护堤应承受容纳液体的静压，卧式储罐防火堤的高度，不应低于500mm，隔堤高度应比防火堤低200mm，并应在防火堤、防护堤适当位置设置人员进出的踏步。
4.1.3 化学品储存、分配间应设置泄漏废液收集沟，沟内应设置废液收集坑，不同性质的化学品泄漏废液收集沟不应联通。有机溶剂间的地沟应采取防止可燃气体积聚的措施。
4.2 化学品供应与回收系统
4.2.1 化学品配送设施应设有危险警示标识及安全操作手册。
4.2.2 酸碱类化学品、腐蚀性有机溶剂应设置双套管。
4.2.3 化学品回收系统应根据工艺排放物性质确定，严禁将发生化学反应的两种或多种物质合并一个系统回收。
4.2.4 有机溶剂与酸碱化学品回收系统应布置在不同房间。
4.3 化学品监控与安全系统
4.3.1 储存、输送、使用化学品的供应设备、阀门箱、化学品储罐防护堤、工艺设备区域应设置漏液或气体探测器，并在泄漏时发出声光报警。
4.3.2 易挥发易燃化学品应使用易燃气体的爆炸浓度下限值（LEL）的不同比例设置一级和二级报警设定值；易挥发有毒化学品应使用空气中有害物质的最高允许浓度值-时间加权平均容许浓度（TLV-TWA）的不同比例设置一级和二级报警设定值。
4.3.3 化学品无相对应泄漏探测器时，应设置该化学品的反应产物泄漏探测器对其进行探测。
5 配套设施设计
5.1 建筑与结构
5.1.1 有爆炸危险的特种气体和有机溶剂房间应设置泄压设施，其泄压方向不得朝向人员密集的场所。
5.1.2 易燃特种气体和有机溶剂的房间应采用不发火花的楼地面。采用绝缘材料作整体面层时，应采取防静电措施。
5.1.3 布置于生产厂房的甲、乙类特种气体和化学品间耐火等级不应低于二级。
5.1.4 有爆炸危险的特种气体和有机溶剂房间与相临区域连通处，应设置门斗等防护措施。门斗隔墙耐火极限不低于3.0小时，门应采用甲级防火门并错位布置。
5.2 给排水与消防
5.2.1 毒性、剧毒性、腐蚀性特种气体间、化学品间应设置紧急冲身洗眼器。
5.2.2 与水发生剧烈反应的特种气体和化学品房间严禁采用水消防系统进行灭火。
5.2.3 硅烷站消防系统设计应符合下列规定：
1 发生硅烷火灾时，应紧急切断硅烷气源;
2 发生硅烷火灾时，应使用水对钢瓶、储罐等进行冷却；
3 不应使用卤代烷类及二氧化碳灭火器。
5.2.4 存放、输送易燃性、自燃性特种气体和有机溶剂柜体应设置自动灭火设施。
5.3 采暖通风与空气调节
5.3.1 特种气体站房、化学品站房应设置连续机械通风，通风换气率应不应低于18m3/（h•m2）。
5.3.2 特种气体气瓶柜、特种气体阀门箱、化学品供应单元、化学品阀门箱应设置连续机械排风装置。
5.3.3 甲、乙类火灾危险性和毒性、腐蚀性、氧化性特种气体和化学品房间内的空气不得循环使用。
5.3.4 特种气体、化学品配送设施及站房排风管道及空调风管应采用不燃材料制作，保温应采用不燃或难燃材料。
5.3.5 特种气体和化学品站房排风系统不得与火灾报警系统连动控制；火灾发生时，严禁关闭排风系统。
5.4 电气与防雷
5.4.1 特种气体和化学品配送设施电力负荷等级应符合下列规定：
1 为特种气体和化学品配送设施服务的站房除检修插座电源外应与主厂房最高负荷等级相同，且不应低于二级负荷；
2 特种气体和化学品控制管理系统以及探测系统应配置UPS不间断电源。
5.4.2 架空敷设的特种气体和有机溶剂金属管道，在进出建筑物处应与防雷电感应接地装置相连。
5.4.3易燃性和氧化性特种气体和有机溶剂的配送设备与管道应采取防静电接地措施，防静电接地为单独接地时每组接地电阻应小于100Ω。
6 施工与验收
6.1 一般规定
6.1.1 特种气体和化学品系统工程应编制专项施工方案。
6.1.2 特种气体和化学品系统不锈钢工艺管道应采用全自动轨道焊机焊接。
6.1.3 特种气体和化学品系统设备及材料进场检验应提供产品合格证和质量保证书，以及安装、使用、维护和试验要求的技术手册。
6.1.4 特种气体和化学品系统验收前必须完成管道和设备标识。
6.1.5 输送剧毒、毒性以及易燃性介质的管道，应进行泄漏性试验，泄漏性试验应符合设计文件的规定。
6.2 特种气体配送设施施工与验收
6.2.1 特种气体管道面密封接头的密封垫片应选择与气体特性兼容材料。使用过的垫片严禁再次使用，严禁在同一密封面上使用两个及以上的垫片，严禁将垫片及面密封部件端面划伤。
6.2.2 特种气体管道焊接前应进行焊接工艺评定、绘制系统的单线图并编制焊接作业指导书。焊接过程应做好记录并不得中断保护气体，焊缝应检查合格。
6.2.3 特种气体管道改建、扩建工程施工前应将管道内特种气体用氮气置换尽，且应将管道系统抽真空处理, 被置换出的气体应经过尾气处理装置进行处理,达标后排放。
6.3 化学品配送设施施工与验收
6.3.1 PVC外套管采用热煨弯工法时应使用专用工具，管道不得产生不规则变形，外套管施工完成后应进行压力试验。
6.3.2 PFA软管内管应采用整根管道贯穿外套管，中间不得有接头。
7 运行与维护
7.1 一般规定
7.1.1 特种气体和化学品配送设施应配置特种气体和化学品专业人员或委托具有相应专业能力的企业进行运行与维护。
7.1.2 特种气体和化学品配送设施应建立运行与维护管理制度和操作规程。
7.1.3 特种气体和化学品配送设施应建立、健全职业卫生管理制度。
7.2 运行安全
7.2.1 特种气体和化学品配送设施试车前,供应系统和泄漏探测设
施应调试、测试合格，同时应制定试车方案及应急预案。
7.2.2 特种气体和化学品配送设施监控中心应安排人员24.00h值
班，并做好交接班记录。
7.2.3 特种气体和化学品配送设施应开展日常定期点检和非定期点检，并明确定期点检和非定期点检内容，保存记录并对问题进行处理。
7.2.4 特种气体和化学品配送设施应对设备进行编号，建立设备台账、技术档案和备品配件管理制度，编制设备操作和维护规程，及时
处理故障。
7.2.5 特种气体和化学品设施应定期开展隐患排查，根据隐患的严重程度进行分类处理。
7.2.6 特种气体和化学品配送设施的变更与改造应进行可行性研评估，制定设计和施工方案。
7.2.7 特种气体和化学品应编制事故应急预案，配备应急救援人员和应急救援器材，并定期进行应急演习。
8
废弃与拆除
8.0.1 特种气体和化学品配送设施废弃与拆除应进行技术和风险评估，制定完善的施工方案与废弃物处理方案。
8.0.2 待拆除系统应采取隔离措施，拆除作业不得影响其他设备的正常运行，做好保护措施。
8.0.3 拆除作业活动监护人员应具备基本救护技能和作业现场应急处理能力，发生异常情况，需立即停止拆除作业，启动应急处置流程。
8.0.4 拆除人员应配备个人防护器具。拆除作业中一旦发生火灾、危险物质泄漏等事故，必须服从统一指挥，按逃生路线依次撤离。
8.0.5 特种气体和化学品配送设施拆除过程应保证施工现场空气流通，密闭环境下拆除应设置通风设施。
8.0.6 特种气体配送设施拆除前应确认特种气体气源已经移除。
8.0.7 特种气体配送设施拆除前应使用氮气或其它惰性气体吹扫干净，经分析、检验合格后方可进行拆除。
8.0.8 化学品配送设施拆除前应排空并冲洗干净，经分析、检验合格后方可进行拆除。
8.0.9 闪点低于环境温度的有机溶剂配送设施在拆除前应使用氮气或其它惰性气体吹扫干净，经分析、检验合格后方可进行拆除。
